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荷兰政府宣布将从周六起加强对微芯片制造机器的出口管制,特别是深紫外(DUV)光刻机的出口。这项措施主要影响荷兰企业ASML。外贸部长Reinette Klever周五在宣布这一举措时,以国家安全为由。

据ASML公司表示,新的出口许可要求是一个技术性变化,意味着该公司将向荷兰政府而非美国政府申请两种较老型号的DUV浸没式光刻系统(1970i和1980i)的出口许可证。荷兰政府已于去年9月对较新一代的DUV机器(2000i及以后)实施了出口许可要求。

DUV光刻机是继极紫外(EUV)光刻机之后的第二大先进的微芯片制造设备。荷兰公司ASML是世界上唯一一家EUV光刻机的制造商,也是DUV光刻机生产、翻新和维修的全球领导者。DUV机器仍可用于制造高度复杂的微芯片,中国的许多领先科技公司,如华为,正在积极推动这一较老技术的极限。

据该部表示,DUV光刻设备可以与其他国家的技术结合使用,以生产先进半导体,这些半导体在先进军事应用中发挥着重要作用。因此,不受控制的出口“对荷兰的安全利益有影响”,该部表示。

目前,只有ASML和日本公司尼康仍在生产深紫外设备及其零部件。另一家日本公司佳能已停止生产DUV机器,但仍生产零部件。佳能还预计将凭借其自己高效的、成本效益高的EUV机器与ASML竞争,这些机器预计将在2025年上市。

美国一直在向荷兰和日本施加压力,要求它们采取更多措施,以阻止先进芯片制造技术落入可疑之手,主要是中国公司。上周,彭博社报道,荷兰政府不太可能续签ASML出口DUV机器维护和备件到中国的许可。本周早些时候,ASML首席执行官克里斯托夫·富凯批评了美国领导的限制其向中国出口的活动,称这已经成为“经济动机”。富凯表示:“我认为越来越难以声称这是关于国家安全的。”“我是在为我们的安全做出这个决定。我们看到,技术发展在出口这种特定生产设备时产生了更多的安全风险。特别是在当前的全球政治气候下,”克莱弗说。“荷兰有一个独特和领先的地位。这伴随着我们必须认真对待的责任。”

“出口许可要求的扩展仅涉及由荷兰少数公司生产的特定设备。这些许可证的发放将确保对出口进行更严格的监管,并有助于保护荷兰的安全利益。”克莱弗补充说。


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